介绍 陈迪，男，1961年出生，1978年考入中国科技大学，1980年国家公派赴德国留学，1986年和1990年分别获德国汉堡大学化学系硕士和博士学位，1990－1992年在德国MicroParts公司从事MEMS三维微加工技术的博士后研究工作，自1993年起在上海交通大学先后任副教授、教授和博士生导师，2004年赴新加坡南洋理工大学作访问学者，目前任薄膜与微细技术教育部重点实验室副主任，上海交通大学微纳科学技术研究院副院长。先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部、教育部、上海市科委、教委和美国3M公司的多项科研项目。开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术－DEM技术，发表论文五十余篇，其中被EI、SCI 收入论文近三十篇，论文被引用180余次，申请发明专利6项，其中授权4项，合编专著3本。目前其研究领域为微加工技术、微传感器、微执行器、生物芯片和微光机电系统等。
姓名 陈迪            
研究方向 1.微加工技术2.微传感器、微执行器与微光机电系统
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 介绍 陈佳品，男，1960年7月21日生。1982年同济大学电气工程系学士，1988年上海交通大学控制理论与控制工程硕士，博士。上海交通大学微系统与集成技术研究所所长。1997年至1999年日本富士通研究所合作科研，1999年日本东京大学访问学者与外国人研究员，2002年澳大利亚 La Trobe 大学研修。长期从事移动机器人和智能微系统的研究，先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部、上海市科委的四足移动机器人、四足移动机器人模糊神经网络控制、石油油罐容积检测爬壁机器人、多微机器人协调与控制、旋翼型飞行微机器人等多项科研项目，获得省部级奖多次。1990年上海市科技结合生产振兴一等奖，1992年上海市科技进步三等奖，1998年上海市科技进步奖“石油油罐容积检测爬壁机器人研制”，2000年中国人民银行金融科技进步奖。目前主要从事智能微系统及其相关信息处理的研究工作。在研项目：国家863计划：基于毫米级移动微机器人的微装配系统研究；国防预研项目;多旋翼微直升机研究(厘米级)；自然科学基金;基于电磁微马达的全方位无回转半径移动微机器人及其行为学习和进化研究；自然科学基金;超低雷诺数下多旋翼微飞行器系统基础理论研究；国际合作项目：卫星定位通信基础理论及其关键技术研究; 预研基金项目：微型旋翼飞行器新概念、新原理研究预研基金项目：基于电磁型微马达的微小陀螺关键技术研究 招收获得通信工程、电子电气工程、控制与仪器科学学位的学生。
姓名 陈佳品            
研究方向 1.微系统集成测试与控制2.智能微机器人与多微机器人协调
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 介绍 陈文元，教授，博士生导师，1944年9月生，1968年毕业于上海交通大学，长期从事陀螺、计算机磁盘驱动器、多用途磁卡机等精密仪器和电磁型微马达、微行星齿轮减速器、电磁型微泵、微陀螺、微机械密码锁、微流控芯片等MEMS器件的研究；长期承担研究生的教学培养工作；曾主持我国第一条生物大分子X光束线及XAFS实验线站关键设备的研制；在国内外发表论文60多篇，申请专利10多项；曾获1989年北京国际博览会金奖，1990年上海市科技结合生产振兴一等奖，1992年上海市科技进步三等奖，1998年国家教委科技进步二等奖，1999年国家教育部科技进步一等奖，2000年国家科技发明二等奖。目前正在进行微惯性器件、MEMS信息安全技术、微流控系统、微仿生飞行机器人等方面的研究。
姓名 陈文元            
研究方向 1.微光机电系统2.现代设计技术在微机械中的应用
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 介绍 丁桂甫，男，1963年10月生。1987年毕业于复旦大学，长期从事微机械加工技术、MEMS器件设计与制造技术、电化学微加工技术等研究，先后主持或作为主要研究人员参与完成了十多项国家或省部级科研项目的研究工作,其中有： 国家自然科学基金项目“基于微机械加工技术的新型电化学微驱动器研究”,总装备部九五重点预研课题“Φ1mm微电机制造技术研究”和“微直升机研制”；863计划项目“直径2毫米电磁型微马达研制”和“直径为1毫米电磁型微马达研制”； 国家计委九五攻关重大课题“实用电磁型微马达关键技术研究”和“形状记忆合金微泵研制”等等。先后获得2000年度国家科技进步二等奖一次，教育部科技进步一等奖一次 目前主要研究方向： 非硅材料三维微加工技术 RF MEMS器件设计与微加工技术光通讯器件设计与制造新型微驱动器研究电子薄膜材料与微细加工技术
姓名 丁桂甫            
研究方向 1.电子材料与器件2.微机电系统相关技术
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 介绍 惠春，1955-02月生，2001年获西安交通大学电气工程博士学位，教授，博士生导师；1995-2001年西安电子科技大学电子科学与技术专业任教，2002--今上海交通大学微纳米科学技术研究院工作;中国电子学会高级会员,中国电子学会信息产业战略研究会理事. 主要研究方向：（1）纳米结构控制与有序自组装科学；（2）智能芯片传感器与测控系统设计；（3）生物芯片电子传感器与疾病诊断。 惠春教授长期从事纳米半导体材料、传感器薄膜材料、传感器与信号处理设计的研究与产业化工作，在生物芯片电子传感器与重大疾病诊断方面有研究。获得国防预研基金、国家十五重点科技攻关计划、国家自然科学基金、上海市政府纳米专项等的资助。在核心期刊和国际会议上发表有关论文20多篇，与美国知名学者在美国出版“Electron Microscopy of Nanotubes”书一部，获国家发明专利一项。 主要招收具有电子化学工程、生物医学、纳米技术、半导体材料与器件设计、传感器与测控技术背景的研究生、博士生、博士后。
姓名 惠春            
研究方向 1.纳米结构调控与自组装2.智能芯片传感器技术与测控系统
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介绍
姓名 江绵恒            
研究方向 1.电子材料与器件
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介绍 李昕欣，1965年6月16日生。分别于清华大学无线电电子学系获学士学位，复旦大学电子工程系获硕士、博士学位。目前任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员，博士生导师，中科院“百人计划“入选者。上海交通大学兼职教授、兼职博士生导师。他长期从事集成微传感器技术和微电子机械系统（MEMS）技术的研究工作，有多项科研成果为国际领先和首创。专利5项。发表论文60篇左右，其中SCI国际刊物16篇，SCI论文单篇最高引用达20多次。曾经和正在承担多项国家微传感器和MEMS研究项目。先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学‘文部省传感器和微机械风险事业实验室’做过博士后、研究员和讲师。
姓名 李昕欣            
研究方向 1.微电子机械系统2.纳米机械技术
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介绍
姓名 沈天慧             中国科学院院士
研究方向 1.薄膜电子材料与元器件2.微传感器、微执行器与微光机电系统
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 介绍 王庆康，男，教授。1962年1月生，1978-1985年就读于北京大学电子系。85年至今在上海交通大学先后从事化合物半导体器件、高速IC设计、光电集成等领域的研究工作。1998年12月晋升教授。作为主要研究人员参加多项国家科研项目。1993年作为第二发明人“高性能铟镓砷光电探测器”获93年国家发明四等奖；1996年获上海市青年科技启明星项目“高速IC电磁场模拟设计”资助；1996年负责承担自然科学基金项目“GaAs IC数字电磁场技术基础研究”。先后发表研究论文近三十篇，其中EI收录8-10篇。第一发明人授权发明专利1项、第二发明人授权发明专利2项，第一发明人公开发明专利3项。2003年完成研究成果“纳米步进马达研制”。1989年和2000年先后赴德国亚琛大学和卡尔斯鲁厄大学作访问学者。目前正承担上海市纳米专项项目“纳米驱动、定位及控制集成器件研究”和“纳米压印相关技术研究”。目前主要研究领域有纳米制造技术、光电子器件、纳米电子与光电子器件。
姓名 王庆康            
研究方向 1.高速IC设计及IC电磁兼容研究2.纳米技术与器件
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介绍 王跃林，1959年生。1982年在浙江大学获学士学位，1985年在哈尔滨工业大学获硕士学位，1989年在清华大学获博士学位。1985年8月到1998年1月在浙江大学信电系工作，1991年晋升副教授，1993年晋升教授，1994年聘为博导，1995和1996年曾应邀分别到香港科技大学和日本东北大学访问研究一年，1998年通过中国科学院“百人计划”到上海微系统与信息技术研究所主持MEMS方面的研究工作。1991年被国家教委选为全国重点跟踪的优秀青年教师， 1992年开始享受政府特殊津贴，1993年获首届浙江省青少年英才奖，1999年被科技部聘为973项目首席科学家。他是IEEE 高级会员、中国电子学会敏感技术分会委员、《仪表技术与传感器》杂志编委、上海传感技术学会理事长、美国光学学会会员、Transducers’01亚洲程序委员会委员。已在国内外杂志和会议上发表论文100余篇,申请专利12项。
姓名 王跃林            
研究方向 1.微系统技术2.光通信技术
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照 片 未 上 传 介绍
姓名 杨春生            
研究方向 1.微纳制造技术2.薄膜材料及器件
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 介绍 张亚非，男，1955年6月出生，1995年兰州大学获博士学位，1999-2001年日本国立无机材质研究所博士后，现为微纳米科学技术研究院教授，长江学者。作为高级科学家完成过多项纳米科学与技术方面的核心研究项目及横向应用研究项目，取得了多项创新及发现。对硅和碳基纳米线状材料的制备、操纵及其纳电子器件研究处于这一前沿研究领域的国际领先地位。发表相关科学论文百余篇，申请专利3项，曾获世界华人重大学术成果奖，论文被SCI引用次数获得过全国个人排名第七名。
姓名 张亚非            
研究方向 1.纳米电子学与器件2.纳米电子材料与加工技术
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 介绍 赵小林：教授，博士生导师，“薄膜与微细技术”教育部重点实验室、“微米/纳米加工技术”国防科技重点实验室主任。 1953年出生，1975年毕业于上海科技大学，主要从事微加工技术、MEMS器件的研究，先后完成了十多项计委“九五”攻关、国家863计划和国防预言等科研项目，曾获国家技术发明二等奖和教育部科技进步发明类一等奖，发表论文40余篇。
姓名 赵小林            
研究方向 1.微加工技术2.微电子机械系统
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 介绍 周勇，男，博士，1964年12月出生。1993年6月获中科院上海光学精密机械研究所无机非金属材料专业博士学位，同年8月进入上海交通大学信息存储研究中心，从事磁性薄膜与器件的研究与开发工作。95－96年在法国科学研究中心路易斯奈尔磁学研究所（CNRS,Lab Louis Neel,Grenoble,FRANCE）做博士后研究。目前承担的科研项目有国防预研项目、973项目，863项目、国家自然科学基金项目、航天基金项目等。已获得或公开的国家专利1项。撰写并发表学术论文50余篇，多数论文被SCI或EI等国际检索刊物收。
姓名 周勇            
研究方向 1.薄膜电子材料与器件2.微传感器、微执行器与微系统
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 介绍 冼鼎昌，男，1935年8月生，高能物理研究所研究员，1956年毕业于北京大学物理系。中国《高能物理及核物理》及美国High Energy Physics & Nuclear Physics的主编。主要从事理论物理、自由电子激光及同步辐射应用研究，领导建造中国第一个同步辐射装置。发表论文约100篇，关于经典规范场理论的研究，曾获1982年国家科学二等奖。
姓名 冼鼎昌             中国科学院院士
研究方向 1.微细加工技术（LIGA）2.改变粒子束能量、波长器件的研究
联系方式 联系电话:8213344-365